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              可變形反射鏡——ALPAO

              可變形反射鏡——ALPAO

              • 所屬類別: 信息光學? 可變形反射鏡
              • 所屬品牌:ALPAO
              • 應用: 信息光學
              • 關鍵詞: 可變形反射鏡——ALPAO DM
              產品介紹

              ALPAO高速變形鏡

              變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用于各種自適應光學系統之中,主要用于校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個驅動單元都有自己獨立的控制器,在外加電壓控制下,變形鏡的鏡面可以產生需要的形變量,從而對波前像差進行調制。變形鏡是自適應光學系統中的重要部件之一。
                  ALPAO是從法國JosephFourier大學獨立出來的公司,主要開發電磁場驅動的MEMS驅動器,最高到820 個驅動器,行程達80μm,表面質量<7nmRMS,采用目前世界上較先進的拋光工藝,表面粗糙度<1nm,變形鏡的響應時間只有500us,帶寬可以達到2KHz。

              ALPAO公司可變形鏡

              ALPAO公司MEMS變形鏡結構緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調制量大低磁滯性<1%,高線性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較于壓電變形鏡的優點在于其巨大的變形量,更高的調制精度。

                blob.pngblob.png                                        

               

              主要特點:

               

              • 調制量大:波前相位調制幅度超過80μm                   

              • 穩定度高:+/-1% over 30s,<10nm RMS over hours

              ·         高動態范圍 :響應時間小于500μs                        

              ·         鍍膜質量高: R>97% @500nm- 2.0μm

              • 表面平整:表面粗糙度 <15? RMS

              • 亞納米步長精度

              • 低磁滯:磁滯誤差小于1%              

              • 單通道相位調制幅度>5.0 μm PTV

              法國ALPAO高速變形鏡主要型號相關參數如下:

              型  號

              參   數

              DM69

              DM88

              DM97-08

              DM97-15

              DM241

              DM277

              DM468

              DM820

              單通道口徑

              1.5mm

              2.5mm

              0.8mm

              1.5mm

              2.5mm

              1.5mm

              通道數

              69

              88

              97

              97

              241

              277

              468

              820

              孔徑

              10.5mm

              20.0mm

              7.2mm

              13.5mm

              37.5mm

              24.5mm

              33.0mm

              45.0mm

              閉環系統鏡面平整度

              7.0nm RMS (no print   through effects)

              最大形變量(PTV)

              60μm

              40μm

              80μm

              60μm

              40μm

              15μm

              聚焦/散光形變量(PTV)

              40μm

              30μm

              40μm

              40μm

              30μm

              10μm

              3x3最大形變量(PTV)

              >25μm

              >10μm

              響應時間(+/-10%)

              800μs

              1.6ms

              800μs

              1.6ms

              500μs

              帶寬

              >750HZ

              >400HZ

              >750HZ

              >400HZ

              >2000HZ

              45°相位延遲頻率

              > 500 Hz

              > 300 Hz

              > 500 Hz

              > 300 Hz

              > 1500 Hz

              回程誤差

              <2%

              非線性誤差

              <3%

              涂層

              保護銀(或其他高反射率涂層)

              操作溫度

              -10~35

               

               

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