少子壽命測量儀BCT-400
BCT-400測量系統不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.
因為少子壽命作為衡量生長和缺陷含量的的較敏感的技術參數,這個工具直接獲得長硅的質量參數。
作為較易于使用的測量工具--BLS,只需要有直徑150mm大小的平面。如果只是測量平面樣品的話,請選擇BCT-400。
產品簡述:
1.用途(高頻光電導)
用于硅、鍺單晶的少數載流子壽命測量,除需要有一個測量平面外,對樣塊
體形無嚴格要求,可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體
內重金屬雜質污染及缺陷存在的情況,是單晶質量的重要檢測項目。
2.設備組成
2.1光脈沖發生裝置
重復頻率>25次/s 脈寬>60μs 光脈沖關斷時間<1μs
紅外光源波長:1.06~1.09μm(測量硅單晶) 脈沖電流:5A~20A
如測量鍺單晶壽命需配置適當波長的光源