少子壽命測量儀BLS-I測試硅棒
1、用途（高頻光電導）
用于硅、鍺單晶的少數載流子壽命測量，除需要有一個測量平面外，對樣塊
體形無嚴格要求，可測塊狀和片狀單晶壽命。壽命測量可靈敏地反映單晶體
內重金屬雜質污染及缺陷存在的情況，是單晶質量的重要檢測項目。
2、設備組成
2.1、光脈沖發生裝置
重復頻率＞25次/s 脈寬＞60μｓ 光脈沖關斷時間＜0.2-1μｓ
紅外光源波長：1.06～1.09μm（測量硅單晶） 脈沖電流：5A～20A
如測量鍺單晶壽命需配置適當波長的光源
2.2、高頻源
頻率：30MHz 低輸出阻抗 輸出功率＞1W
2.3、放大器和檢波器
頻率響應：2Hz～2MHz
2.4、配用示波器
配用示波器：頻帶寬度不低于10MHz，Y軸增益及掃描速度均應連續可調。
3、測量范圍
可測硅單晶的電阻率范圍：ρ≥0.1Ω·㎝（歐姆·厘米），壽命值的測量范圍：5～6000μｓ
