CILAS的可變形反射鏡，利用壓電材料所有共享相同的屬性（PZT）來工作的。他可以精確地控制很小的變形量（亞納米級）和高響應速度（幾百微秒）。
CILAS可以提供兩種變形鏡可供選擇：
●堆棧陣列鏡（SAM）：利用正壓電效應，每個驅動單元都由一些壓電磁盤組成，變形鏡的行程是就是由所有壓電磁盤的行程之和。
●雙晶變形鏡（BIM）：所謂單晶（MONO），是利用橫向光電響應，在兩塊機械連接處產生差局部曲率。
變形鏡在高功率激光方面的應用：
變形鏡是在法國馬庫錫實驗室發明的，后來在幾個國防項目中，變形鏡主要用在高功率激光光束聚集中。
參 數 型 號 | 通光孔徑 | 通道數 | 行程 | 光學性能 | 帶寬 |
MONO31-100 LULI | 100mm | 31 | ±14μm（機械性） | 7 nm rms（機械性） | / |
MONO61-75 LOA | 75mm | 61 | ±24μm（機械性） | 5nm rms（機械性） | / |
MONO63-85 AWE | 85mm | 63 | ±30μm（機械性） | 5 nm rms（機械性） | / |
MONO63-50 WARSOW UNIVERSITY | 50mm | 63 | 20μm PV（機械性） | 9nm rms（機械性） | / |
MONO63-30 HZDR | 30mm | 63 | ±15μm PV（機械性） | 8nm rms （機械性） | 850HZ |
變形鏡在天文方面的應用：
變形鏡在天文方面主要用在天文望遠鏡方面。
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參 數 型 號 | 通光孔徑 | 通道數 | 行程 | 光學性能 | 備注 |
BIM19-42 PUEO CFHT | 42mm | 19 | ±10μm（機械性） | / | / |
BIM60-60 MACAO SINFONI - CRIRES | 60mm | 60 | ±30μm PV（機械性） | 10nm rms（機械性） | / |
BIM60-100 MACAO VLTI | 100mm | 60 | ±40μm PV（機械性） | 8.5nm rms（機械性） | / |
BIM60-50 SOAR | 50mm | 60 | ±19μm PV（機械性） | 10nm rms（機械性） | / |
BIM188 NAOJ | 90mm | 188 | ±50μm PV（機械性） | 15nm rms（機械性） | / |
MONO85-34 ISP | 34mm | / | ±16μm（機械性） | 3nm rms （機械性） | 860HZ |
MONO63-30 IOE | 30mm | 63 | ±15μm PV （機械性） | 5nm rms（機械性） |
