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              uPG 101

              uPG 101

              產品介紹

              uPG 101 

              uPG 101 是很經濟,容易去用微型發生器進行直寫應用和低容量掩模制作的一個系統。這個系統可運用的應用有,微電子機械系統、生物微系統、集成光學、微流道或者其他需要高分辨率的微型系統。他的面積很小只有60*1875px^2,獨特的緊湊結構,使得所有的電子分量都可以完整的包含在這個系統中。個人電腦可以用來控制這個系統,這個基于操作軟件的圖形用戶界面使用戶更容易去進行設計,生成目錄,自動對準和生成曝光。

               blob.png

              重要特征選項

              最小基板尺寸  6x  6”

              最小廟會尺寸0.6um

              最小描繪網格20nm

              基本灰度曝光模式

              實時自動對焦系統

              標準或者紫外二級管激光

              矢量和柵格曝光模式

              可交換的寫模式

              攝像系統的一致性

              多種數據輸入模式

              技術參數

              寫入模式

              1

              2

              3

              4

              最小結構大?。╱m)

              0.6

              1

              2.5

              5

              寫速度(mm^2/min)

              1

              5

              35

              90

              地址網格(nm)

              20

              40

              100

              200

              邊緣粗糙度(3σ,nm)

              100

              120

              200

              400

              線寬均勻度(3σ,nm)

              150

              200

              400

              800

              線條測量精度(3σ,nm)

              200

              200

              400

              800

               

               


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