CDE ResMap 四點探針 (ResMap 178)4探針測試系統（電阻率，面電阻）

CDE　ResMap–CDE　公司生產之電阻值測試系統是以四探針的工藝，以配合各半導體成光伏生產廠家進出之生產品質監控，既超卓可靠又簡易操作的設備是半導體及光伏生產廠家不可缺少的

CDE ResMap 四點探針 (ResMap 178)
  CDE 提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺?？焖?，精確與軟件控制下針、軟件功能可較佳化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換。太陽能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，可擴充3個量測單元，支持Semi標準接口。

光伏測試專用美國ResMap四點探針
CDE ResMap的特點如簡述如下: * 高速穩定及專利自動決定范圍量測與傳送,THROUGHPUT高 * 數字方式及每點高達4000筆數據搜集,表現良好重復性及再現性 * Windows 操作接口及軟件操作簡單 * 新制程表現佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達成高精確度及重復性) * 體積小,占無塵室面積少 * 校正簡單,且校正周期長 * 可配
合客戶需求,增強功能與適用性 * 300mm 機種可以裝2~4個量測頭,并且可以Recipe設定更換CDE　ResMap–CDE　公司生產之電阻值測試系統是以四探針的工藝，以配合各半導體成光伏生產廠家進出之生產品質監控，超卓可靠又簡易操作的設備是半導體及光伏生產廠家不可缺少的。

主要特點： 測量范圍廣,精度高,穩定性好,功能強大,軟件好用,維修成本低,服務好。
美國進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀/太陽能光伏擴散薄層電阻測試儀（Four point probe(4PP)）
設備名稱: 四點探針電阻儀 (CDE ResMap)
主機廠牌、型號與附件: CDE ResMap
規格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 樣品尺寸: 2吋至6吋晶圓 (表面須為平整的導電薄膜，半導體材料)
設備用途: 導電薄膜的電阻值分布測量，半導體，光伏
特點：
1）針尖壓力一致
2）適用于各種基底材料
3）友好的用戶界面
4）快速測量
5）數據可存儲
 
應用：
1）方塊電阻

2）薄片電阻

3）摻雜濃度

4）金屬層厚度

5）P/N類型

6）I/V測試