太陽能電池專用橢偏儀

在其產品家族里包括：單波長、多波長（波長范圍可達UV， VIS，NIR和IR）

可以精確測量折射指數、消光系數（n & K)，膜厚等，廣泛適用于半導體、電介質、聚合物、金屬等材料，單層薄膜和多層膜。

光譜橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構特性的光學測量設備?？蓽y的樣品包括大塊材料、薄膜以及在平面基底上生長或沉積的多層結構。多層固體、液體、與固體相鄰的液體以及與固體接觸的氣相等離子體的特性等都可以用這一技術來探測。由于與樣品非接觸，對樣品沒有破壞并且不需要真空，使得橢偏儀成為一種極具吸引力的探測設備。

根據客戶需求，可提供不同型號：

變角度單波長橢偏儀（632.8nm）；

變角度多波長橢偏儀（532, 632.8, 1064nm, …）；

變角度光譜橢偏儀（深紫外、紫外-可見-近紅外光譜190-2300nm）；

全自動光譜橢偏儀（深紫外、紫外-可見-近紅外光譜190-2300nm）；

紅外光譜橢偏儀等；

技術參數

膜厚范圍：0-30000nm 
折射指數：± 0.0001 
厚度準確度：± 0.01nm 
入射角度：20 - 90° 
波長范圍：250-1100nm（深紫外、近紅外、紅外可選） 
Psi=±0.01°，Delta=±0.02°

主要特點

高精度測量；

變角度功能；

全光譜測量；

成功案例：

著名客戶包括US Army Research Lab，NASA，NIST，UC Berkeley，MIT，Harvard，Honeywell和Sharp Microelectronics等等； 

光譜橢偏儀 SpecEL-2000-VIS

SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是一款操作便捷的臺式光譜橢偏儀，主要應用于薄膜測量。它具有經濟實用、小巧、便利和擁有便捷的樣品支架以及一鍵化操作等特點。SpecEL-2000-VIS適用于測量平整和半透明的樣品，例如晶圓和玻璃片。

光譜橢偏儀測量光的相位和振幅的相對變化而不是傳統的絕對光強(反射測量法)。因此這項技術不同于參考測量法，可以同時得到多重參數。高速測量保證系統可以在5－15秒內得到樣品厚度，同時也可得到反射系數(n)和吸收率(k)與波長(450-900nm)之間的函數。

SpecEL-2000僅有標準橢偏儀價格的一半，卻包括了一個集成的寬光譜光源，導光器件，起偏器，樣品臺，檢偏器，增強光學元件和微型線陣列CCD光譜儀。整個系統的外形尺寸僅有52×33×600px，入射光的角度固定在70度。

對于不同的層狀和襯底樣品，SpecEL可以測量的層厚在0.1nm到8um之間，精度達到1nm。隨系統還有一套以32位的Windows平臺操作軟件，它具有強大的功能并能提供各種模型，例如Cauchy，OJL，Tauc-Lorentz，Drude，EMA和不同的振蕩器。這套軟件同時存儲了特定的測試模式，減少了煩瑣的反復測量和重復工作。

可以選擇高分辨率的組件，將照射到樣品上的光斑尺寸從2×4mm縮小到200×400um。還有其他可以選擇的組件，例如2維繪圖附件，參照晶圓和各種按需定制的解決方案。

關于微派克
成立于1995年的德國微派克(Mikropack GmbH)公司，是歐洲領先的儀器以及設備的生產商和供應商。產品主要是用于生物科技，光譜，通信和薄膜應用等方面的光纖和電子機械元件。光纖光譜產品線包括光源，光測量和校準系統。微排克同時還致力于生產用于薄膜測量的產品，如NanoCalc-2000(光譜反射測量儀)，SpecEl-2000(光譜橢偏儀)和PlacCala-2000與ProCess-2000(等離子監測，過程控制系統) 。微派克是英國豪邁國際有限公司的子公司。