接觸電阻率和薄層電阻 TLM-SCAN+ 多功能太陽電池柵線接觸電阻測試儀
接觸電阻率和薄層電阻 TLM-SCAN+
前金屬化的接觸電阻是對絲網印刷太陽能電池的總串聯電阻的重要貢獻。 具有合適測試結構的轉移長度方法是將接觸電阻與其他串聯電阻效應分開的較佳方法。 然而，接觸電阻可以在太陽能電池上顯著變化，因此需要在成品太陽能電池上以空間分辨率測量它的方法。 TLM-SCAN產生太陽能電池的接觸電阻率的映射，該太陽能電池用激光或切割鋸切割成條紋。
右側的映射顯示了分辨率和可重復性，因為它顯示了14次測量的相同條帶。
接觸電阻率測量儀
這款緊湊型儀器測量成品太陽能電池的接觸電阻率，手指線電阻，手指寬度和手指高度，或者測試結構。
通過在所有軸上電動化，可以通過按一個按鈕來創建所有這些方法的地圖。
用于測量薄擴散層的薄層電阻和晶圓電阻率的四點探頭，使得TLM-SCAN 成為一種低成本，快速，高質量的四點探針貼圖儀。
使操作更簡單的功能：
自動位置校正以獲得較佳接觸質量
蓋子關閉時自動啟動
自動采樣編號
軟件探頭識別
精確的導航與歡樂棒和顯微鏡相機
通過點擊圖像來探測定位和重新測量單點
多功能太陽電池柵線接觸電阻測試儀
晶體硅太陽能電池的表面金屬歐姆接觸的好壞通過接觸電阻來反映。在太陽能電池電極優化中，接觸電阻是需要考量的一個重要方面。接觸電阻的大小不僅與接觸的圖形有關，還與擴散工藝及接觸形成工藝有關。不同柵線圖形的歐姆接觸好壞可以通過接觸電阻率的大小來反映。因此，通過對接觸電阻率的研究計算可以反映擴散、電極制作和燒結等工藝中存在的問題。但現在的測量方法存在測量時間長、效率低、精度差等缺陷，而又同時缺少一種專門測量太陽能電池接觸電阻的測試設備，因此不利于太陽能電池接觸電阻測量在產線上的應用。本技術成果采用TLM法測量接觸電阻，結合電機平臺、攝像頭及計算機控制等技術已基本能實現自動測量和結果分析計算等功能。
市場預測：本技術成果可應用于電池生產廠家、銀漿生產廠家等與電池柵線工藝有關的企業，以便快速測量柵線接觸電阻檢測改進工藝。目前還沒有成熟的本類產品，如能及早開發及產業化推廣，本技術開發的產品將在市場上占得先機。目前，實驗室已制備出可以應用的樣機，某些銀漿生產廠家已試用過并以測量結果作為參考改進產品。
一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式
序列模式通過按一個按鈕來測量接觸電阻率和手指幾何圖形的映射
Contact resistivity and more
The contact resistance of the front metallization is an important contribution to the total series resistance of screen-printed solar cells. The transfer length method with a suitable test structure is the best method to separate the contact resistance from other series resistance effects. However, the contact resistance may vary considerably over the solar cell so a method to measure it with spatial resolution on the finished solar cell is necessary. The TLM-SCAN creates mappings of the contact resistivity of a solar cell that is cut into stripes with a laser or a dicing saw.
The mapping on the right demonstrates the resolution and repeatabilty as it shows the same stripe measured 14 times
