來自瑞士Lyncee Tec數字全息顯微鏡的解決方案、資源和產品
光學輪廓儀：四維動態形貌測試。
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應用案例：Link實時四維形貌量測、微熱板薄膜加熱形變、加熱可降解材料揮、發液體透鏡結構形變、光敏液晶聚合物受光形變、電化學刻蝕、動態形貌石墨烯薄膜受力形變、更多應用案例、
MEMS器件面內和面外振動分析、24.7MHz表面聲波慣性傳感器微執行器、MEMS懸臂梁、MEMS微翻轉鏡、超聲傳感器、更多應用
活體細胞
非侵入量化相位顯微(QPM)、高內涵篩選-細胞毒理分析、酵母菌干重實時測量、光學膜片鉗活體細胞四維成像、更多應用案例
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| 參數 | ||
| DHM型號 | T1000 | T2100 |
| 激光源數量 | 1 | 2 |
| 工作波長(±1.0nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm |
| 激光波長穩定性 | 0.01 nm/°C@666nm | |
| 樣品臺 | 手動或電動 XYZ 三軸樣品臺，最大移動范圍 114 mm x 76 mm x 38 mm | |
| 物鏡 | 放大倍數 1.25x 至 100x，可選標準物鏡、高NA值物鏡、蓋玻片矯正物鏡、長工作距物鏡、水鏡、油鏡等 | |
| 電腦 | Dell工作站，Intel? 多核處理器，高性能顯卡 針對對 DHM? 優化配置，最小21寸顯示器 | |
| 專用軟件 | Koala專用數據采集分析軟件，基于C++ 和 .NET 附加專用分析軟件供不同應用分析(MEMS Analysis Tool，Cell Analysis Tool，Reflectometry Analysis) | |
| 性能 | ||
| 測量模式 | 單激光波長 666 nm | 雙激光合成波長8 μm |
| 可用該測量模式的DHM型號 | T1000, T2100 | T2100 |
| 測量精度 [nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
| 縱向分辨率[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
| 測量重復性[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
| 動態可測縱向范圍 | 最大500 μm 4 | 最大500 μm 4 |
| 最大可測臺階高度 | 最大1.0 μm 4 | 最大7.0 μm 4 |
| 最大3.5 μm 4 | 最大22 μm 5 | |
| 垂直校準 | 由干涉濾光片決定，范圍 ±0.1 nm | |
| 圖像采集時間 | 標準500 μs (最快可選10μs) | |
| 圖像采集速率 | 標準30幀/秒1024x1024像素(最快可選1000幀/秒) | |
| 實時重建速率 | 標準25 幀/秒1024x1024像素(最快可選 100 幀/秒) | |
| 橫向分辨率 | 由所選物鏡決定，最大 300 nm | |
| 視場 | 由所選物鏡決定，范圍從 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm | |
| 工作距 | 最高50倍于景深 (由所選物鏡決定) | |
| 樣品照明 | 最低1μW/cm2 | |
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